高い分解能を持つレンズやガルバノスキャナー、高精度な自動ステージ等のさまざまなユニットを搭載した実験装置です。

波長・パルス幅等の異なるレーザー光源を保有しております。
また、測定顕微鏡、金属顕微鏡等の観察機器や、レーザービームプロファイラ、パワーメーター等の光学測定機器もございます。

波長、目的等に合わせて実験装置をその都度最適化して、加工実験を執り行います。